반디앤루니스 인터넷서점
전체

로고이미지

검색

  • ▼
HOT ISSUE

네비게이션 실시간 인기 책

    웨이퍼 세정기술

    웨이퍼 세정기술

    • 카렌 A. 라인하르트, 베르너 컨 저
    • 장인배 역
    • 씨아이알
    • 2020년 05월 20일
    • 정가
      52,000원
    • 판매가
      46,800원 [10% 할인]
    • 결제 혜택
      무이자
    • 적립금
      2,600원 적립 [5%P]

      NAVER Pay 결제 시 네이버페이 포인트 5% 적립 ?

    • 배송구분
      업체배송(반디북)
    • 배송료
      무료배송
    • 출고예정일

      출고예정일 안내

      ※ 출고예정일은 도서 재고상황에 따라 변동될 수 있습니다.

      close

      2024년 11월 15일(금)

      ※ 출고예정일은 도서 재고상황에 따라 변동될 수 있습니다.

    수량
    바로 구매 쇼핑카트 담기 위시리스트
    회원리뷰
    - [0]
    ISBN: 9791156108412 924쪽 188 x 257 (㎜)

    지금 이책은

    • 판매지수 : 130

    이 분야의 베스트셀러

    이 책이 속한 분야

    책 소개

    상품문의 / 정보수정 요청 >

    이 책은

    웨이퍼 세정의 바이블!

    웨이퍼 세정기술 제3판에서는 반도체 분야에서 활용되는 세정, 에칭 및 표면처리 기술에 대해서 심도 깊은 논의를 수행하였다. 표면과 콜로이드를 포함하는 습식처리 및 플라스마 처리와 관련된 기초물리학과 기초화학에 대한 내용도 포함되어 있다. 이 개정판에서는 발전을 거듭하고 있는 반도체 업계에서 최근 10년간 이루어진 새로운 기술과 소재들에 대해서도 다루고 있다.
    이 책에서는 다양한 기술들과 결과에 대한 예시를 통해서 세정과 표면처리에 사용되는 공정들이 선정된 이유를 이해할수 있다. 독자들은 또한 오염을 평가하는 분석방법들에 대해서도 이해할 수 있다. 이 책은 세정의 이론과 기법에 대한 이해를 필요로 하는 관리자, 엔지니어 및 기술자들에게 소중한 지침서이다. 이 책에서는 입자, 유기물 그리고 금속오염 제거, 표면 부동화, 표면분석, 식각 그리고 감광제 박리와 같은 주제들을 다루고 있다.
    이 책의 특징은 다음과 같다.

    ∙집적회로 제조에 사용되는 습식, 플라스마 및 여타의 표면처리기법을 포함한 세정기술에 초점을 맞추었다.
    ∙집적회로 제조에 사용되는 표면세정과 관련된 믿을 만한 레퍼런스들을 제공하고 있다.
    ∙식각, 세정 및 표면처리에서 필요로 하는 공정, 장비 및 계측 기술에 대한 새로운 문헌들과 기술의 변화동향 다루고 있다.

    이 책은 화학공학이나 재료공학을 전공한 학생이나 엔지니어들뿐만 아니라 공정을 관리하고 장비를 개발하는 기계공학 및전자공학 엔지니어들에게도 훌륭한 지침서로 사용될 것이다.

    출판사 리뷰

    이 책은 반도체 세정공정을 최초로 개발한 전설적인 인물 베르너 컨이 저술한 서적의 3판이다. 이 분야에 종사하는 엔지니어라면 누구나 이전의 판본을 접해본 적이 있을 만큼 바이블과도 같은 책이다. 특히 제3판에서는 기존의 세정기술들과 더불어서 3차원 디바이스, CMP 가공 후 세정기술, III-V족 물질에 대한 세정 등 최신의 세정기술이 포함되어 있다. 이 책이 반도체 세정 분야에 종사하는 엔지니어들에게 올바른 지식정보를 전달하는 훌륭한 지침서로 활용되길 바란다.

    저자 소개

    카렌 A. 라인하르트, 베르너 컨

    저자 : 카렌 A. 라인하르트(Karen A. Reinhardt)
    미국 캘리포니아 산호세 카메오 컨설팅

    저자 : 베르너 컨(Werner Kern)
    미국 뉴저지 레이크우드 베르너 컨 & 어소시에이트

    역자 : 장인배
    서울대학교 기계설계학과 학사, 석사, 박사
    현 강원대학교 메카트로닉스공학전공 교수

    역자 소개

    장인배

    •서울대학교 기계설계학과 학사, 석사, 박사
    •현 강원대학교 메카트로닉스공학전공 교수

    목차

    PART I 서언과 개요
    CHAPTER 01 실리콘 웨이퍼 세정기술의 개요와 발전 방향
    CHAPTER 02 웨이퍼 오염과 결함

    PART II 습식 화학처리
    CHAPTER 03 입자의 증착과 접착
    CHAPTER 04 습식 세정과 표면처리
    CHAPTER 05 화학-기계적 평탄화 가공 후 세정

    PART III 건식 세정
    CHAPTER 06 기체상 웨이퍼 세정기술
    CHAPTER 07 플라스마 박리, 세정 및 표면처리
    CHAPTER 08 극저온 에어로졸과 초임계 유체를 사용한 세정과 표면처리

    PART IV 분석과 관리
    CHAPTER 09 표면의 화학적 조성과 형태
    CHAPTER 10 금속 표면의 화학조성과 형태
    CHAPTER 11 화학약품과 물의 모니터링
    CHAPTER 12 입자형 오염물질의 검출과 측정
    CHAPTER 13 웨이퍼 표면상에 존재하는 초미량 불순물의 분석

    배송 시 유의사항

    - 반디앤루니스에서 구매하신 도서는 물류 대행 위탁업체 웅진 북센을 통해 배송됩니다.
     (배송 포장에 "웅진 북센"으로 표기될 수 있습니다.)

    - 구매한 상품의 품질과 배송 관련 문의는 반디앤루니스로 문의 바랍니다.

    - 천재지변 및 택배사의 사정에 따라 배송이 지연될 수 있습니다.

    - 결제(입금) 완료 후 출판사 및 유통사의 사정으로 품절 또는 절판 되어 상품 구입이 어려울 수 있습니다. (별도 안내 예정)

    - 도서산간지역의 경우 추가 배송비가 발생될 수 있습니다.

    반품/교환

    상품 설명에 반품/ 교환 관련한 안내가 있는 경우 그 내용을 우선으로 합니다. (업체 사정에 따라 달라질 수 있습니다)

    반품/교환

    반품/교환
    반품/교환 방법 홈 > 고객센터 > 자주찾는질문 “반품/교환/환불” 안내 참고 또는 1:1상담게시판
    반품/교환 가능 기간 반품,교환은 배송완료 후 7일 이내, 상품의 결함 및 계약내용과 다를 경우 문제발견 후 30일 이내에 신청가능
    반품/교환 비용 변심 혹은 구매착오의 경우에만 반송료 고객 부담(별도 지정 택배사 없음)
    반품/교환 불가 사유
    • 소비자의 책임 사유로 상품 등이 손실 또는 훼손된 경우
    • 소비자의 사용, 포장 개봉에 의해 상품 등의 가치가 현저히 감소한 경우
    • 복제가 가능한 상품 등의 포장을 훼손한 경우 : 예)만화책, 잡지, 화보집 등
    • 시간의 경과에 의해 재판매가 곤란한 정도로 가치가 현저히 감소한 경우
    • 전자상거래등에서의 소비자보호에 관한 법률이 정하는 소비자 청약철회 제한 내용에 해당되는 경우
    • 해외주문 상품(해외 원서)의 경우(파본/훼손/오발송 상품을 제외)
    소비자 피해보상
    환불지연에 따른 배상
    • 상품의 불량에 의한 반품, 교환, A/S, 환불, 품질보증 및 피해보상 등에 관한 사항은
      소비자 분쟁해결 기준(공정거래위원회고시)에 준하여 처리됨
    • 대금 환불 및 환불지연에 따른 배상금 지급 조건, 절차 등은 전자상거래 등에서의
      소비자 보호에 관한 법률에 따라 처리함
    반품/교환 주소 경기도 파주시 문발로 77, 웅진북센(반디앤루니스)
    • 회사명 : (주)서울문고
    • 대표이사 : 김홍구
    • 개인정보 보호책임자 : 김홍구
    • E-mail : bandi_cs@bnl.co.kr
    • 소재지 : (06168) 서울 강남구 삼성로 96길 6
    • 사업자 등록번호 : 120-81-02543
    • 통신판매업 신고번호 : 제2023-서울강남-03728호
    • 물류센터 : (10881) 경기도 파주시 문발로 77 반디앤루니스
    copyright (c) 2016 BANDI&LUNI'S All Rights Reserved